1、最低0.27元开通文库会员，查看完整内容> 原发布者:mcpj26745 EDS原理及应用12091024吴保华EDSEDS可以与EPMA，SEM，TEM等组合，其中SEM－EDS组合是应用最广的显微分析仪器，EDS的发展，几乎成为SEM的表配。
(资料图)
2、是微区成份分析的主要手段之一。
3、能谱仪：EDS(EnergyDispersiveSpectrometer)能谱的特点•能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。
4、•对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。
5、•能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。
6、•检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。
7、X能谱仪检测原理光子能量检测过程X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探测器后，在晶体内产生电子一空穴对。
8、在低温下，产生一个电子－空穴对平均消耗能量为3.8ev。
9、能量为E的X射线光子产生的电子－空穴对为N＝E/3.8。
10、例如：MnKa能量E为5.895KeV，形成的电子－空穴对为1550个。
11、CaK:3.7KeV，约产生1,000电子－空穴对。
12、电子-空穴对形成电压脉冲信号，探测器输出的电压脉冲高度对应X射线的能量。
13、定性分析能谱定性分析原理X射线的能量为E＝hγh为普朗克常数，γ为光子振动频率。
14、不同元素发出的特征X射线具有不同频率，即具有不同能量，只要检测不同光子的能量（频率γ）,即可确定元素－定性分析。
15、定量分析分析方法1.有标样定量分析：在相同条件下，同时测量标。
本文分享完毕，希望对大家有所帮助。
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